STEM EBIC 이미징은 기존 TEM 기반 기술로는 관찰할 수 없는 재료 및 소자의 전자적 대비를 시각화할 수 있는 첨단 기법입니다. NEI의 STEM EBIC 시스템은 탁월한 감도를 바탕으로 SEEBIC을 이용한 전도도 맵핑[1,2] 및 구동 중인 소자의 전자적 변화 분석 등 차별화된 기능을 제공합니다.
대비 모드 (Contrast Modes):
전도도(Conductivity), 전기장(Electric Field), 캐리어 확산(Carrier Diffusion), 2차 전자 수율(SE Yield)
응용 분야 (Applications):
기초 연구(Basic Research), 소자 개발(Device Development), 고장 분석(Failure Analysis), 품질 보증(Quality Assurance)
STEM EBIC 이미징은 기존 TEM 기반 기술로는 관찰할 수 없는 재료 및 소자의 전자적 대비를 시각화할 수 있는 첨단 기법입니다. NEI의 STEM EBIC 시스템은 탁월한 감도를 바탕으로 SEEBIC을 이용한 전도도 맵핑[1,2] 및 구동 중인 소자의 전자적 변화 분석 등 차별화된 기능을 제공합니다.
대비 모드 (Contrast Modes):
전도도(Conductivity), 전기장(Electric Field), 캐리어 확산(Carrier Diffusion), 2차 전자 수율(SE Yield)
응용 분야 (Applications):
기초 연구(Basic Research), 소자 개발(Device Development), 고장 분석(Failure Analysis), 품질 보증(Quality Assurance)
